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      化學過濾器在電子行業的應用

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      【摘要】:
        在集成半導體器件、微電子等高科技企業中,隨著產品工藝復雜度的增加和產品工藝線寬度的縮小,空氣中的氣態分子污染物(以下簡稱AMC)往往會導致產品良率下降和性能下降和失敗,化學過濾器起著重要作用,那么,下面一起了解下化學過濾器在電子行業的應用!

        在集成半導體器件、微電子等高科技企業中,隨著產品工藝復雜度的增加和產品工藝線寬度的縮小,空氣中的氣態分子污染物(以下簡稱AMC)往往會導致產品良率下降和性能下降和失敗,化學過濾器起著重要作用,那么,下面一起了解下化學過濾器在電子行業的應用!

        國際半導體設備與材料協會在SEMI F21-95和F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標準適用于半導體行業的潔凈環境,規定了四個“標準范圍”:酸(MA)、堿(MB)、凝物(MC)和雜質(MD)。

        AMC的危害,以電路板為例:電路板常見的化學故障是表面貼裝元件的銅蠕變腐蝕和鍍銀腐蝕,含硫氣體和水分會腐蝕電路板上所有銅鍍層,由此產生的硫化銅會導致電路板蠕變,并可能導致相鄰支座特征之間發生短路。同時,含硫氣體能腐蝕銀,形成硫化銀;大量硫化銀的積累會產生機械應力,破壞封裝的完整性,并導致進一步腐蝕,直到零件中的所有銀都耗盡,導致開路。

        在潔凈室中,污染不僅包括嚴格意義上的塵粒,還包括具有任何干擾作用的固體、液體、氣體、熱量、電磁等。大多數潔凈室都裝有化學過濾器或高效過濾器。它們對控制0.5微米以上的顆粒非常有效,但對小分子AMC效果不佳,過濾方式為傳統的物理過濾。存在二次污染的風險,需要使用化學過濾器,這與化學過濾器的工作原理密不可分。

        化學過濾器有選擇地吸附有害氣體分子,而不是像普通過濾器那樣機械地“過濾”空氣中的異味、腐蝕性氣體、有毒氣體等雜質。

        化學過濾器通常采用活性炭、活性氧化鋁、離子交換樹脂等凈化介質作為過濾材料。中建南方提供多種化學過濾產品,通過合理配置可達到去除污染物的效果。

        不同行業不同場所對凈化后的氣態污染物濃度要求不同。在半導體、微電子等行業,使用化學過濾器可以有效去除“分子污染物”,保護敏感的電子系統和印刷電路板。酸性氣體和水分的影響可以提高產品質量,提高產品成品率,保護工作人員的身體健康。


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